摘要：介紹了用于加工太赫茲波元件的微機械加工技術(shù) ( 銑削、放電加工、電鑄、濕法腐蝕 Si、干法腐蝕 Si、厚光刻膠: SU - 8 和 LIGA) 及其最新結(jié)果。重點描述了應(yīng)用于太赫茲波的器件和集成電路, 如將可用于太赫茲波的各種新穎二極管、半導(dǎo)體納米器件、新的高電子遷移率晶體管、毫米波集成電路、量子器件、紅外器件、量子級聯(lián)激光器 ( 單極級間躍遷激光器) 。基于帶間躍遷量子機理的半導(dǎo)體器件 ( 譬如量子級聯(lián)激光器) 的頻率極限高于與半導(dǎo)體能帶隙相關(guān)器件的頻率, 其大多數(shù)體半導(dǎo)體的頻率可以達到 10 T Hz 以上。但是, 基于經(jīng)典的電子擴散傳輸機理的二極管、三極管的高頻極限則受限于渡越時間和寄生參數(shù) RC 時間常數(shù)。 '|<