摘要：我們使用近似的物理光學模模擬了半徑的測量。使用簡單的幾何光線模型替換復雜的物理光學模型，可以確定在測量中的偏差。 J0sD?V|{1~  
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1. 簡介 *yZ6"  
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半徑干涉測量通常通過簡單的幾何模型來模擬，即，來自物鏡（或標準透鏡）的光線形成錐形并且聚焦到一點[1]。當測試光學器件變小和/或需要更高的精度時，這個簡單的幾何模型就會產(chǎn)生問題并得到錯誤的半徑測量值。需要完整的物理光學模型來捕獲系統(tǒng)的衍射效應和像差。 YidcV