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HSL.002(4.0) [g"nu0sOK 摘要：這個案例分析了由衍射擴散器元件實現(xiàn)的單色準分子激光光束的均勻化，最終生成一個圓形高帽。 3'L =S [Y`E"1f2 1.建模任務 cy6YajOk7
rwSR Ew.6y=Ba 2.光源參數(shù) Fg
p|gw4 ImB5F'HI$
 e`LvHU_0
#o~C0`8!B=
S3HyB
b
• LED模型：Gaussian Type Planar Source（高斯型平面光源） +}udIi3:l
• 光源平面直徑：100μm×100μm a6h+?Q7uF
• 空間相干長度：3μm×3μm NoF|j57?u'
• 相應的發(fā)散角（HWHM）：～0.89×0.89° 3dZ j<(.
• 波長：351nm Xajt][
l2M( 3. 衍射擴散器透過率函數(shù) um/F:rp EFtn !T
mmjWLrhlu
一個衍射勻光元件,可以使用一個具有如下技術參數(shù)的衍射擴散器透過率函數(shù)來模擬： *7*cWO=
• Phase-Only元件 X<Xiva85
• 采樣距離：5μm 2H8\ P+
• 大�。�640μm×640μm 4yTg H0(T
• 相位級：8 Ed0}$ b
• 生成的目標模式：圓形高帽 8.wtv5eZ
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