①DOME溫度過高，可以嘗試降低溫度。 @2pu^k^
  
②預清潔功率過大或時間過長，造成基板表面粗糙度增大引起發(fā)霧。 <DKS
+R  
③H4和MGF2鍍增透膜的話，可以溫度設定在300℃左右。

ouyuu:沒人覺得是散射嗎？ \~LQ%OM  
問題還在結晶上，試著調整一下鍍膜溫度和速率，還有充氧。 gM [w1^lj  
其實有離子源會更好些。 (2017-08-21 17:22)  rr#K"SP  

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溫度、速率還有充氧具體要像哪個方向調節(jié)呢，比如說沖多點氧還是少點

dcfcwdx:溫度、速率還有充氧具體要像哪個方向調節(jié)呢，比如說沖多點氧還是少點 (2018-08-30 13:27)  |Yq$sU  

8EVgoJ.  
這個只有自己慢慢試。改變條件可以改變結晶大小，但是哪個更好要自己試的。

問題弄好了嗎？

起霧有時候不一定是膜的問題。玻璃基片洗不凈的情況下也有可能導致起霧，玻璃認真清潔或者用手擦拭后鍍膜試一下。

鍍膜溫度過高，氧化鈦高溫下結晶發(fā)霧！

發(fā)蒙或者發(fā)霧可以從工藝和膜料入手排查原因，如果只鍍氟化鎂和H4的話，問題應該在H4上面

會不會溫度過高

還有你的基底材料是什么？加了離子源沒有？

膜外⽩霧 TPhTaKCio  
現(xiàn)象：鍍膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩霧，⽤丙酮或混合液擦拭，會有越擦越嚴重的現(xiàn)象。 g/CxXSv@0  
⽤氧化鈰粉擦拭，可以擦掉或減輕，（⼜稱：可擦拭壓克） rxO2QQ%V  
分析：膜外⽩霧的成因較為復雜，可能的成因有： #yI.nzA*  
① 膜結構問題：外層膜的柱狀結構松散，外層膜太粗糙； 5d@t7[]  
② 蒸發(fā)⾓過⼤，膜結構粗糙。 lcV<MDS  
③ 溫差：鏡⽚出罩時內外溫差過⼤ D#S\!>m  
④ 潮⽓；鏡⽚出罩后擺放環(huán)境的潮⽓ , *qCf@$I  
⑤ 真空室內POLYCOLD解凍時⽔汽過重 kF7V.m/~o  
⑥ 蒸鍍中充氧不完全，膜結構不均勻 *Ei|fe$sa  
⑦ 膜與膜之間的應⼒ NA,CZ  
改善思路：膜外⽩霧成因很多，但各有些特征，盡量對癥下藥。主要思路，⼀是把膜做的致密