①DOME溫度過高，可以嘗試降低溫度。 lxfv'A  
②預(yù)清潔功率過大或時(shí)間過長(zhǎng)，造成基板表面粗糙度增大引起發(fā)霧。 !q1XyQX  
③H4和MGF2鍍?cè)鐾改さ脑�，可以溫度設(shè)定在300℃左右。

ouyuu:沒人覺得是散射嗎？ }tJMnq/m($  
問題還在結(jié)晶上，試著調(diào)整一下鍍膜溫度和速率，還有充氧。 7 6HB@'xY  
其實(shí)有離子源會(huì)更好些。 (2017-08-21 17:22)  @ev^e!B  

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溫度、速率還有充氧具體要像哪個(gè)方向調(diào)節(jié)呢，比如說沖多點(diǎn)氧還是少點(diǎn)

dcfcwdx:溫度、速率還有充氧具體要像哪個(gè)方向調(diào)節(jié)呢，比如說沖多點(diǎn)氧還是少點(diǎn) (2018-08-30 13:27)  $'lJ_jL  

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這個(gè)只有自己慢慢試。改變條件可以改變結(jié)晶大小，但是哪個(gè)更好要自己試的。

問題弄好了嗎？

起霧有時(shí)候不一定是膜的問題。玻璃基片洗不凈的情況下也有可能導(dǎo)致起霧，玻璃認(rèn)真清潔或者用手擦拭后鍍膜試一下。

鍍膜溫度過高，氧化鈦高溫下結(jié)晶發(fā)霧！

發(fā)蒙或者發(fā)霧可以從工藝和膜料入手排查原因，如果只鍍氟化鎂和H4的話，問題應(yīng)該在H4上面

會(huì)不會(huì)溫度過高

還有你的基底材料是什么？加了離子源沒有？

膜外⽩霧 F]?$Q'U  
現(xiàn)象：鍍膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩霧，⽤丙酮或混合液擦拭，會(huì)有越擦越嚴(yán)重的現(xiàn)象。 T}]Ao  
⽤氧化鈰粉擦拭，可以擦掉或減輕，（⼜稱：可擦拭壓克） z_l3=7R  
分析：膜外⽩霧的成因較為復(fù)雜，可能的成因有： z(orA} [  
① 膜結(jié)構(gòu)問題：外層膜的柱狀結(jié)構(gòu)松散，外層膜太粗糙； .^.UJo;4G  
② 蒸發(fā)⾓過⼤，膜結(jié)構(gòu)粗糙。 @+X}O/74  
③ 溫差：鏡⽚出罩時(shí)內(nèi)外溫差過⼤ e@,,;YO#4  
④ 潮⽓；鏡⽚出罩后擺放環(huán)境的潮⽓ Nd!2 @?V4  
⑤ 真空室內(nèi)POLYCOLD解凍時(shí)⽔汽過重 n7q-)Dv_U  
⑥ 蒸鍍中充氧不完全，膜結(jié)構(gòu)不均勻 PvT8XSlTx!  
⑦ 膜與膜之間的應(yīng)⼒ M7Hk54U+t  
改善思路：膜外⽩霧成因很多，但各有些特征，盡量對(duì)癥下藥。主要思路，⼀是把膜做的致密 p