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光弛1300鍍膜機離子源柵網(wǎng)更換后氧化硅與氧化鈦匹配系數(shù)失衡,請大神幫忙分析一下
[復(fù)制鏈接]
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liujun0527
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樓主
發(fā)表于: 2017-06-07
各位好,最近在生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)
鍍膜
機固定的2套柵網(wǎng)周期性更換后,內(nèi)外圈氧化硅與氧化鈦
材料
匹配系數(shù)失衡,導(dǎo)致
曲線
頻譜落差變大,請各大神指導(dǎo)一下從哪些方向上分析改善。
: b9X?%L~
`ceetr=
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發(fā)表于: 2017-06-13
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yzhuang
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2樓
發(fā)表于: 2017-06-27
一樓正解,大家一定要注意的是,離子源的狀態(tài)會影響膜層的位置均勻性,更換離子源部件或者調(diào)整離子源參數(shù)都可能會發(fā)生樓主那樣的情況
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囊中蓄乾坤
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3樓
發(fā)表于: 2017-06-30
如果只是鍍前轟擊的話,會不會影響鍍膜的均勻性。遇到過在鍍后轟擊會引起膜層不均勻的現(xiàn)象。
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拉比熊
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4樓
發(fā)表于: 2017-07-05
首先 檢測的是 離子源柵網(wǎng)更換是的重復(fù)性工作,其次才是MASK
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奔跑的小駿馬
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5樓
發(fā)表于: 2017-07-22
MASK只是修正鐘罩的,而鐘罩是不變得。所以我們要從以下幾個方面去考慮:
-FxE!K
1、鐘罩是否變形,你可以從鐘罩的幾個不同的位置去取測試片對比以下特性的差異,有可能是因為鐘罩變形,每次取的測試片位置不一致導(dǎo)致特性不停的變動;
R:[IH2F s
2、查看離子源的蒸發(fā)角度是否發(fā)生變化,主要是離子源的傾斜角度,出廠都有參數(shù)的。角度變化導(dǎo)致離子分布變化,從而影響特性;
LBCat=d<
3、電子槍系統(tǒng)是否發(fā)生變化,光斑相對于鐘罩的位置等等。
hoJ{C 0
4、修正板是否變形,修正板機構(gòu)定位是否有變動,主要就是修正升上去后,相對于球罩的位置是否發(fā)生變化。
-~PiPYX
如果以上均沒有問題,再去考慮修正MASK。一般不要輕易的去動MASK。因為他是死的。
"q<}#]