6月21日，“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項(xiàng)(02專項(xiàng))實(shí)施管理辦公室組織專家在中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所召開了“極紫外光刻關(guān)鍵技術(shù)研究”項(xiàng)目驗(yàn)收會。評審專家組充分肯定了項(xiàng)目取得的一系列成果，一致同意項(xiàng)目通過驗(yàn)收，認(rèn)為該項(xiàng)目的順利實(shí)施將我國極紫外光刻技術(shù)研發(fā)向前推進(jìn)了重要一步。