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案例563(1.0) 6$"gm$3O] 1.建模任務(wù) }yde9b?F Ku6bY| 這個案例將演示設(shè)計(jì)與分析一個折射率調(diào)制的擴(kuò)散器圖層以生成Top Hat圖案。 uWs5+ 設(shè)計(jì)包括兩個步驟: 8*sZ/N. - 設(shè)計(jì)相位函數(shù)來生成一個角譜Top Hat分布。 cR0+`& - 基于相位調(diào)制來計(jì)算對應(yīng)的折射率調(diào)制。 9EryHV| 如果想要更詳細(xì)的解釋設(shè)計(jì)和分析步驟,請參見教程Tut565。 Ne^md +9S_H( x.Sq2rw]V 照明光束參數(shù) EeW
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