ouyuu:穩(wěn)定性上很難說。 E@"+w,x)  
新柯隆在低端機上用過一陣子ULVAC的晶控儀， J @"wJEF  
后來因為軟件問題，包括售出的機器全換成了INFICON的。 v*QobI  
然后ULVAC的老板信誓旦旦說軟件修好了，沒問題了， G=!Y