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ouyuu:穩(wěn)定性上很難說。 AoOG[to7 新柯隆在低端機上用過一陣子ULVAC的晶控儀, `0G.Y 后來因為軟件問題,包括售出的機器全換成了INFICON的。 $J0~2TV< 然后ULVAC的老板信誓旦旦說軟件修好了,沒問題了,