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回復(fù)一下看看資料，一直搞不清為什么RF離子源國(guó)內(nèi)做不了

剛需，謝謝樓主

lovsilence:回復(fù)一下看看資料，一直搞不清為什么RF離子源國(guó)內(nèi)做不了 (2019-02-01 14:22)  2%rAf8=  

r*p<7  
首先是柵網(wǎng) Pi40w+/  
1，柵網(wǎng)材料現(xiàn)在選用的是進(jìn)口材料，晶格的均勻性和內(nèi)應(yīng)力控制上，國(guó)內(nèi)材料還達(dá)不到國(guó)外的水準(zhǔn)。柵網(wǎng)使用時(shí)溫度可以達(dá)到1000多度，國(guó)產(chǎn)材料在這種溫度下很難控制變形量。而柵網(wǎng)的孔只要不是在一條直線上，離子輸出能量和輸出均勻性就會(huì)受很大影響。 V\r5  
2，即使用了進(jìn)口材料，國(guó)內(nèi)的機(jī)床加工精度還達(dá)不到日本的水平。 Q/1