lovsilence:回復一下看看資料，一直搞不清為什么RF離子源國內(nèi)做不了
(2019-02-01 14:22) 
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bw[!f4~ 首先是柵網(wǎng)
9}\T?6?8pX 1，柵網(wǎng)材料現(xiàn)在選用的是進口材料，晶格的均勻性和內(nèi)應力控制上，國內(nèi)材料還達不到國外的水準。柵網(wǎng)使用時溫度可以達到1000多度，國產(chǎn)材料在這種溫度下很難控制變形量。而柵網(wǎng)的孔只要不是在一條直線上，離子輸出能量和輸出均勻性就會受很大影響。
\}2Wd`kD 2，即使用了進口材料，國內(nèi)的機床加工精度還達不到日本的水平。
"K@os< 3，只要三片柵網(wǎng)的孔沒有對準，實際離子輸出就會受影響。原廠柵網(wǎng)在出廠前會進行檢測，然后根據(jù)結果對三片柵網(wǎng)進行匹配，所以一般原廠柵網(wǎng)輸出效率能達到90%左右。國產(chǎn)的我樂觀估計60%就不錯了。
RWoiV10 vZKo&jU k 其次是匹配和軟件
ooq>/OI0 根據(jù)氣體不同，RF射頻的相位匹配很重要，這個需要根據(jù)經(jīng)驗進行微調(diào)。
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v Vb 還有軟件上需要人員進行開發(fā)。如果不是自己生產(chǎn)的鍍膜機，和鍍膜機的聯(lián)動也是個問題。
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>7 所以一般是鍍膜機廠家自己開發(fā)，獨立開發(fā)的話，后期服務需要大量人手，其實利潤不高的。
