針對不同厚度的鎳膜以及金膜，利用多物理場耦合分析軟件COMSOL Multiphysics研究了波長248 nm、矩形脈沖寬度14 ns激光輻照損傷閾值隨膜厚變化的物理過程。本研究與他人的理論計算和實驗測得的結果基本一致，研究表明：在高強度單脈沖激光均勻輻照下，金屬薄膜表面的損傷主要是由于激光能量在其材料內部的沉積而導致的熱效應引起的；當金屬薄膜的厚度小于其光學吸收長度時（鎳膜厚度 < 8 nm，金膜厚度 < 12 nm），其熔融損傷閾值隨著薄膜厚度的增加而減��；當薄膜厚度大于光學吸收長度而小于其熱擴散長度時（鎳膜厚度8~730 nm，金膜厚度12~1 050 nm），其熔融損傷閾值隨薄膜厚度增加而線性增加；當薄膜厚度大于其熱擴散長度時（鎳膜厚度 > 730 nm，金膜厚度 > 1 050 nm），其熔融損傷閾值隨薄膜厚度的增大基本保持不變。
