近日，中國科學(xué)院自動化研究所精密感知與控制中心研究員徐德、張正濤在IJAC第4期發(fā)表了研究論文AnEffectiveOn-lineSurfaceParticlesInspectionInstrumentforLargeApertureOpticalElement。文章介紹了最新設(shè)計的一款新型緊湊檢測儀，可用于快速檢測LAOE表面的微粒污染，該儀器攜帶方便，實(shí)現(xiàn)在線檢測。 ox*1F+Xri  
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當(dāng)前，對于光學(xué)元件表面微粒的檢測最基本的方法是肉眼觀察，這全憑工人的經(jīng)驗(yàn)來判斷微粒數(shù)量和大小，最后的結(jié)果往往受很多主觀因素影響�，F(xiàn)在，還有一些專業(yè)的檢測儀器，如：激光剪切散斑干涉技術(shù)檢測薄片上的細(xì)小缺陷;投射測定法使用THz光譜儀追蹤THz脈沖延遲，并得出元件表面狀況的量化數(shù)據(jù);C-CT，即原子力顯微鏡，也稱掃描電子顯微鏡，檢測光學(xué)元件表面的微粒污染。雖然通過這些儀器測出的結(jié)果精度高，但不適用于在線檢測幾百微米級大小的微粒。 0 30LT$&!  
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