近日，中國科學院自動化研究所精密感知與控制中心研究員徐德、張正濤在IJAC第4期發(fā)表了研究論文AnEffectiveOn-lineSurfaceParticlesInspectionInstrumentforLargeApertureOpticalElement。文章介紹了最新設計的一款新型緊湊檢測儀，可用于快速檢測LAOE表面的微粒污染，該儀器攜帶方便，實現在線檢測。 RUUV"y  
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當前，對于光學元件表面微粒的檢測最基本的方法是肉眼觀察，這全憑工人的經驗來判斷微粒數量和大小，最后的結果往往受很多主觀因素影響�，F在，還有一些專業(yè)的檢測儀器，如：激光剪切散斑干涉技術檢測薄片上的細小缺陷;投射測定法使用THz光譜儀追蹤THz脈沖延遲，并得出元件表面狀況的量化數據;C-CT，即原子力顯微鏡，也稱掃描電子顯微鏡，檢測光學元件表面的微粒污染。雖然通過這些儀器測出的結果精度高，但不適用于在線檢測幾百微米級大小的微粒。 lN
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現階段，研究者們設計出了兩種可滿足美國國家點火裝置(NIF)損傷檢測要求的系統(tǒng)：激光光學元件損傷檢測系統(tǒng)(LODI)用于檢測傳輸光學元件及靶室真空窗的損傷情況;終端光學元件損傷檢測系統(tǒng)(FODI)用于檢測終端光學元件的損傷情況。兩系統(tǒng)均采用暗場成像技術來增加損傷圖像間的對比度。FODI系統(tǒng)可檢測大小超過50微米的裂縫，置信度達99%，檢測192束光大約需要2小時。但上述系統(tǒng)操作復雜，造價高昂，不易攜帶，應用于實際時困難重重。 6=