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中科院自動化所實(shí)現(xiàn)大口徑光學(xué)元件表面微粒在線檢測
中科院自動化所實(shí)現(xiàn)大口徑光學(xué)元件表面微粒在線檢測
發(fā)布:
cyqdesign
2017-11-07 09:08
閱讀:
9368
近日,中國科學(xué)院自動化研究所精密感知與控制中心研究員徐德、張正濤在IJAC第4期發(fā)表了研究論文AnEffectiveOn-lineSurfaceParticlesInspectionInstrumentforLargeApertureOpticalElement。文章介紹了最新設(shè)計(jì)的一款新型緊湊檢測儀,可用于快速檢測LAOE表面的微粒污染,該儀器攜帶方便,實(shí)現(xiàn)在線檢測。
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