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    [討論]關於 EB 製程(不使用IAD) [復制鏈接]

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    離線rexchou
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2017-11-20
    各位前輩 先進 大家好 pOB<Bx5t  
    關於EB製程(不使用IAD)部分 w%oa={x  
    在高溫(280度)不使用IAD的情控下,麻點該如何避免產(chǎn)生 [s] ZT  
    可以控制的參數(shù)很少 LOwd mj  
    頂多就 真空、鍍率、氣體 除此之外還有甚麼改善的部分嗎???
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2017-11-20
    麻點有很多因素。 _0ZBG(  
    改善抽氣和放氣(延長緩粗抽和緩放棄的時間),可以減少氣流帶到鏡片的粉塵數(shù)量。 ^ME'D  
    改善預熔藥的溶藥制程(甚至溶藥后再放置鏡片),可以減少粉塵源。 xbCQ^W2YU|  
    電子槍如果有二次電子(電子槍轟擊藥物后反射的電子)抑制器,可以減少鏡片的靜電,減少粉塵沾染。 YPKB4p#  
    另外,腔室的清潔很重要,如果每次都換鋁膜,那也能改善很多。
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    rexchou 光幣 +5 熱心助人,鼓勵! 2017-11-23
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2017-11-22
    主要還是查看一下膜料吧!另外就是腔體里出現(xiàn)掉膜的部位需要及時清理,還要防止膜料的互相影響。
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    rexchou 光幣 +1 精彩回帖,獎勵! 2017-11-23