現(xiàn)在使用的離子源存在兩個(gè)問(wèn)題： 5TqT`XTz
m  
1、加速電流非常不穩(wěn)定，突變比較大，數(shù)量在10mA以?xún)?nèi)波動(dòng)；是否跟離子源工作狀態(tài)的穩(wěn)定性有關(guān)？ dF2 &{D"J  
2、加速電流設(shè)置不知道多少數(shù)值為佳？ d~](S<k  
有沒(méi)有懂得，指點(diǎn)一二。 @aU%1h5W;l  

是不是設(shè)定在最大輸出功率 的60~80%，會(huì)不會(huì)是比較妥當(dāng)?shù)膥 Fi+v:L|  
*]Nd I  
加速電流我不清楚能不能設(shè)定，參數(shù)那邊我只知道可以設(shè)定加速電壓

10mA很小了。光馳基本上是100mA的變化。 *ip2|2G$  
加速電流變化一般是氣體流量的問(wèn)題，氣體流量是受真空壓力變化波動(dòng)的。 C%LRb{|d  
而真空壓力波動(dòng)的原因很大一部分是受電子槍蒸發(fā)的影響。 _T6l*D  
TAbd[:2{F  
一般RF源出廠時(shí)候做分布都是最高電壓最大電流為基準(zhǔn)的。 isaDIl;L/  
所以最大電流分布是最好的。但是電流大了電壓高了， UPs*{m  
溫度也就高了，膜系的應(yīng)力會(huì)受影響。 z;