設計了一種狹縫柔性結構的光學元件調(diào)節(jié)機構，使光學元件在具備較高調(diào)節(jié)精度的同時，保持較高的導向精度。采用彈性力學應力函數(shù)法分析了狹縫柔性結構的剛度，以徑向剛度與軸向剛度的比值為目標函數(shù)，對狹縫柔性結構尺寸參數(shù)進行了優(yōu)化，在不超過柔性結構材料屈服應力等約束條件下，剛度比最優(yōu)值達到1 573.6，較大的剛度比值可以減小調(diào)節(jié)機構的耦合位移，從而提高機構的導向精度。該結構加工裝配方便，可實現(xiàn)三自由度（θx-θy-Z）調(diào)節(jié)。對優(yōu)化后的柔性結構進行仿真分析，結果表明：徑向剛度與軸向剛度比值的仿真值為1 660.4，解析值與仿真值誤差為5.23%，證明了剛度分析方法的有效性。優(yōu)化后的結構，軸向調(diào)節(jié)行程為2.09 mm，繞x軸偏轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)行程為±16.6 mrad，繞y軸偏轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)行程可達到±14.4 mrad，滿足光學元件調(diào)節(jié)的大行程要求。
