| ponydonews |
2006-11-17 11:14 |
《石英晶體監(jiān)控膜厚儀的發(fā)展與應用》
提要：石英晶體振蕩監(jiān)控光學薄膜厚度是直接監(jiān)控光學薄膜物理厚度的方法，與T作波段無關，設置簡單，各種厚度皆可控制．易于實現(xiàn)自動控制，將會越來越廣泛地應用在光學薄膜厚度監(jiān)控中。本文首先介紹了石英晶體監(jiān)控膜厚儀監(jiān)控光學薄膜厚度的原理，然后討論了石英晶體監(jiān)控儀的發(fā)展和晶振片的穩(wěn)定性。 Q!'qC*Gyfn
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