| 200833 |
2018-04-16 18:11 |
絕對(duì)平面檢測(cè)方法的研究進(jìn)展
光學(xué)平面的干涉檢測(cè)發(fā)展至今，檢測(cè)精度已經(jīng)大大提高，而高精度的平面檢測(cè)很大程度上受限于參考平面的精度，針對(duì)參考平面面形對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響，利用絕對(duì)平面檢測(cè)方法，通過(guò)多次測(cè)量以達(dá)到消除參考平面偏差的目的。從測(cè)量方式和計(jì)算方法兩個(gè)方面分析了不同絕對(duì)平面檢測(cè)方法的原理，介紹了最新發(fā)表的相關(guān)成果以及研究動(dòng)態(tài)，并對(duì)比了檢測(cè)結(jié)果。這些檢測(cè)方法已經(jīng)精確到像素級(jí)，并通過(guò)多種計(jì)算方法使得峰谷（PV）值的計(jì)算精度大部分達(dá)到了λ/100。
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