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gaofei5588 2018-05-21 10:22

離子源問題

離子源的Beam ,ACC,RF和RFN之間有什么聯(lián)系以及它們各自的名稱和作用
mcgraw 2022-04-02 11:02
頂一下,同問這個問題
螞蟻啃大象 2022-05-11 09:22
頂一下,同問這個問題
18844167969 2022-08-29 16:20
離子輔助沉積 d_*'5Eia6  
ouyuu 2022-08-31 16:25
光弛原理和新柯隆差不多。 bR@ e6.<i  
(bi}?V*  
就新柯隆來講:三片柵網(wǎng),從下到上為ACC,SUP,GND -$L53i&R  
ACC加1000V左右電壓,離子從放電室(石英碗)擠出之后,靠ACC獲得初速度。 NIeT.!  
SUP加-300-700V左右電壓,防止電子進入放電室。 Cs7YD~,  
GND就是接地,并起到保護SUP電極的作用。(東西掉在柵網(wǎng)上不會造成短路,打火) E)m{m$Hb  
7</&=lly  
中和器T腳加1000V脈沖打火,電子足夠多后發(fā)生電離連鎖反應(yīng)。 7_taqcj  
然后K腳(陰極產(chǎn)生電子)和A腳(陽極拉出電子)加上電壓,通過調(diào)節(jié)A腳電壓調(diào)節(jié)電子數(shù)量。
ouyuu 2022-08-31 16:29
射頻沒啥好講的,就是產(chǎn)生一個震蕩的電磁場,讓帶電顆粒受電磁場影響不斷在放電室震蕩。 wxXp(o(  
帶電顆粒震蕩時有更大的幾率碰撞到氣體分子,使其電離,這樣連鎖反應(yīng)就產(chǎn)生了。
李某 2023-12-17 07:01
感謝大佬分享 ~k?7XF I  
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