ttb2016 |
2018-05-31 09:54 |
突破光學衍射極限, 發(fā)展納米光學和光子學
摘要:信息技術已經(jīng)進入納米時代,納米光學和光子學正是為滿足快速和高密度信息技術的需求而產生、發(fā)展的。先進的納米光學和光子學器件應該是高速、高分辨率和高集成的,形成各類光學和光子學芯片和盤片。由于器件最小特征尺寸和加工分辨率受限于光的衍射極限,現(xiàn)有技術已接近實用化技術的理論極限并且成本很高,只有突破光學衍射極限才能進一步發(fā)展納米光學和光子學。在光的遠場和近場應用超分辨率技術,是當前重要的前沿課題,它們的應用主要集中于信息技術領域,具有代表性的是納米信息存儲和光刻中的光學超分辨率技術等。 S&&QU# !]fSS)\H 關鍵詞:納米光學; 納米光子學; 超分辨率; 光信息存儲; 光刻
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