| zxp791 |
2007-01-11 08:42 |
問題：用晶振片測(cè)膜厚
最近在鍍膜機(jī)上新裝了一臺(tái)晶振測(cè)膜儀，Inficon 074-186S XTM2 OM�？偣灿昧�2次，出現(xiàn)同樣的問題，在開始鍍膜的1分鐘內(nèi)，運(yùn)作正常，顯示屏顯示鍍膜的速率和膜厚，但不超過1分鐘，顯示屏上就會(huì)出現(xiàn)晶振片錯(cuò)誤的信息（crystall fail），同時(shí)真空室中晶振片的蓋子通過氣動(dòng)自動(dòng)蓋上。如果我再從新啟動(dòng)一下膜厚儀，又可以工作，大概也還是1分鐘左右的時(shí)間，又會(huì)出現(xiàn)象上面同樣的錯(cuò)誤，真的不知道問題出在哪里？？？ {6x
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