| gangzi0801 |
2018-08-29 10:08 |
飛秒激光精密微納加工的研究進(jìn)展
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飛秒激光由于其超快時(shí)間特性和超高峰值功率特性在精密微納加工領(lǐng)域引起了人們廣泛的重視。在與物質(zhì)的相互作用中它能快速、準(zhǔn)確地將能量作用在特定的區(qū)域內(nèi)，從而可以獲得極高的分辨率和加工精度。文章綜述了飛秒激光精密微納加工的最新研究進(jìn)展，分別就飛秒激光燒蝕微加工和飛秒激光雙光子聚合產(chǎn)生三維微納結(jié)構(gòu)進(jìn)行了介紹,闡述了各自的物理機(jī)制.最后對(duì)飛秒激光微納加工的研究前景做了初步探討。
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