haohan930311 |
2018-11-01 23:06 |
如何在ZEMAX中導(dǎo)入zernike面形誤差
問題描述:如何在Zemax軟件中正確輸入ZYGO干涉儀的檢測到的面形參數(shù)。 whI{?NP
/SvhOi 通過某些檢測手段或者檢測技術(shù),可以得到以ZYGO干涉儀中的36項zernike fringe系數(shù)進(jìn)行表征(Z1-Z36),如下圖所示。 m l`xLZN>L w+$$uz [attachment=87966] D#jwI,n}x ZvY"yl?e 那么對于下面這個反射式光學(xué)系統(tǒng),中的某面,如何把這個面形誤差添加進(jìn)去呢? U#<d",I $`pf!b2Z [attachment=87967] }_Bo:*9B-o IPot][ N> 求大神解答?或者有用其他的方式做面形誤差分析的么? opX07~1
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