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200713

2018-12-20 17:04

激光位移傳感器傳感探頭微小型光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)

摘要：光斑質(zhì)量直接影響激光位移傳感器測量的精度。為了提高激光位移傳感器傳感探頭光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量，設(shè)計(jì)了傳感探頭四片式微小型光學(xué)系統(tǒng)。本文在理想成像基礎(chǔ)上，分析光束在光學(xué)系統(tǒng)中能量傳遞的變化規(guī)律，對比光電探測器的感光能力，利用光學(xué)設(shè)計(jì)軟件（ZEMAX）實(shí)現(xiàn)了激光位移傳感器傳感探頭微小型光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。通過理論計(jì)算分析，嚴(yán)格控制傳感探頭孔徑光闌的大小，對光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行優(yōu)化處理，成像最大彌散斑半徑低于3.3 μm，空間分辨率120 lp/mm以下的傳遞函數(shù)MTF （Modulation Transfer Function）值大于0.5，光線扇形圖的最大像差小于5 μm，畸變量低于0.1859%。該光學(xué)系統(tǒng)具有良好的成像效果，可以滿足激光位移傳感器探測系統(tǒng)對成像系統(tǒng)成像光斑質(zhì)量的要求，以保證傳感器的測量精確度優(yōu)于5 μm。

關(guān)鍵詞：微小型光學(xué)系統(tǒng), ZEMAX, 光斑質(zhì)量

大雨天	2018-12-22 00:05
不錯(cuò)，下載看看

大雨天	2018-12-22 00:22
文章光學(xué)設(shè)計(jì)都做錯(cuò)了，還發(fā)表了，浪費(fèi)我2個(gè)光幣下載。此系統(tǒng)的光路應(yīng)該是物面于光軸成夾角的，像面也和光軸成夾角的非軸對稱系統(tǒng)，作者卻做成的軸對稱的，視場都設(shè)置錯(cuò)了（文章圖7所示）。難道不會使用ZEMAX中的titled surface吧 /S;?M\

clark	2019-01-08 08:37
KANKAN A

cgl155410	2019-01-08 13:37
誤人子弟，都不看就發(fā)到論壇上

Optic_Stud	2019-02-25 09:59
感謝分享

zhaojq815	2019-02-26 18:37
感謝分享！

疾走的考拉	2019-03-19 18:15
看看具體操作

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