| ka2012 |
2018-12-27 11:22 |
長條形鏡面面形擬合技術(shù)研究
摘要：為了解決長條形鏡面面形擬合中各項不正交，無法在調(diào)整中利用像差指導(dǎo)計算機輔助裝調(diào)的問題，本文建立了一套合理的擬合模型。該模型以矩陣求解正交化Zernike多項式系數(shù)為基礎(chǔ)，將離散的數(shù)據(jù)點作為定義域，對已選取的Zernike項進(jìn)行定義域內(nèi)正交化計算，并以獲得的各正交項為基底，實現(xiàn)對長條形鏡面及其他異形光學(xué)鏡面的正交化多項式擬合求解。進(jìn)而確定在干涉檢測中加工誤差與裝調(diào)誤差的分離，為光學(xué)鏡面的最終面形收斂提供保障。根據(jù)本文實驗結(jié)果，對一口徑600 mm×260 mm，PV與RMS值分別為5.889λ及1.002λ的長條形光學(xué)鏡面進(jìn)行擬合，利用Metropro去像散后，面形未得到收斂，PV與RMS值分別變?yōu)?.448λ及1.725λ。而采用本文算法處理后，其PV與RMS值分別收斂為4.666λ及0.679λ，驗證了本文方法對于長條形鏡面擬合的正確性。 %Un
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