從零開始設(shè)計的微光刻透鏡：SYNOPSYS 光學(xué)設(shè)計軟件

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你現(xiàn)在使用的電腦有一個中央處理器，它的晶圓片是用一個非常復(fù)雜的鏡頭曝光加工而來的。這類鏡頭可能含有20或30個以上的鏡片組成，是世界上最精細(xì)的鏡頭。如果你想更好的學(xué)習(xí)光學(xué)設(shè)計，這將是一個好的學(xué)習(xí)例子。本課將給出一個學(xué)習(xí)例子。 "@@Z{  
鏡片數(shù)22片 7
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物高31mm Dqm;twd>  
物方數(shù)值孔徑NA 0.2 VY "i>Ae  
波長為UV P6;Cohfh  
像方晶圓尺寸是12.66mm RU,!F99'1  
總長小于1200mm tCr?!Y~  
這種透鏡在物體和圖像上都是有限共軛的，最好分兩步設(shè)計。首先，我們將為左半部分設(shè)計一個鏡片組，可以讓光束經(jīng)過遮光罩，光束到中心后被準(zhǔn)直。然后我們將為右半部分設(shè)計第二個鏡片組，將準(zhǔn)直光束成像到晶圓片上。 (?~*.g!  
首先，我們將使用DSEARCH為左半部分設(shè)計出11個鏡片的鏡頭，輸入的命令如下：

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      Here is the input for DSEARCH: jLreN#:9  
      CORE 14 TIME M