| 李琦 |
2019-04-13 14:08 |
微透鏡陣列勻光
目的是對(duì)CMOS的參數(shù)進(jìn)行測(cè)試，所以需要均勻光。我用的是成像型微透鏡陣列對(duì)深紫外光進(jìn)行勻光處理，這是我的光路圖和勻光效果圖。所用的探測(cè)器像元大小是5.5μm×5.5μm。均勻度要求是99%。請(qǐng)問(wèn)大家接下來(lái)需要怎么優(yōu)化才能滿(mǎn)足要求》？謝謝大家！ G `!A#As
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