| gangzi0801 |
2019-04-21 22:40 |
大型光學表面納米精度制造
摘要：納米精度光學表面在光刻技術、同步輻射、空間觀測和慣約聚變等領域有重大需求。隨著裝備 性能需求的不斷提升，這些光學系統(tǒng)對光學零件面形精度和表面質量的要求幾乎接近于物理極限，對光學制 造技術提出了更高挑戰(zhàn)，使光學制造成為納米制造技術的發(fā)展前沿。通過攻克納米量級材料去除的穩(wěn)定性、 復雜曲面可控補償和裝備運動軸性能設計等關鍵問題，掌握了以磁流變和離子束拋光技術為代表的可控柔 體拋光技術，利用自主研發(fā)的拋光制造裝備和工藝實現(xiàn)了典型光學零件的納米精度制造，為國家相關科技項 目的順利實施提供有力的制造技術支撐。 !=+ hU/e
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關鍵詞：納米精度制造；光學制造；可控柔體拋光；磁流變拋光；離子束拋光
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