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2019-05-22 09:18 |
用于短波紅外探測器的微透鏡陣列制作
摘要：采用光刻膠熱熔法制作具有特定尺寸的微透鏡，制作的微透鏡能將微透鏡陣列技術應用于短波 1μm~3μm 紅 外探測器中，有效地提高探測器件的光電性能。采用 AZ P4620 厚光刻膠，利用紫外光刻技術，對透鏡制作中的前烘、 曝光和顯影、堅膜、熱熔等工藝進行了深入細致的實驗研究，確定了最優(yōu)的工藝參數(shù)，實現(xiàn)了球冠直徑在(5.5±0.5) μm， 曲率半徑 3 μm 的微透鏡，且透鏡有很好的均勻性和一致性，滿足近紅外探測器件的要求。 A jr]&H4
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關鍵詞：微透鏡陣列；光刻膠熱熔法；前烘；熱熔
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