synopsys中基于方差的像差
波前差是像質(zhì)的有用度量，VARIANCE命令可以計(jì)算方差、標(biāo)準(zhǔn)偏差、X和Y中的圖像點(diǎn)。后兩個(gè)量給出了參考球面中心的位置，在該位置方差被最小化，如果該分析是多波長的，從所請求的色差或主波長色差的主要光線點(diǎn)測量。這是對衍射圖樣的峰值位置的一個(gè)有用的近似，只要OPD誤差小于一個(gè)波長。對于畸變非常重要的透鏡，比如顯微光刻物鏡，我們希望控制這個(gè)位置，而不是僅僅控制主光線截距的位置——這是校正畸變的一個(gè)更常見的目標(biāo)。本節(jié)描述的像差允許我們這樣做。格式是: ~=cmM
M TAR WTA { ICOL /P / M } WVAR HBAR GBAR NRYS p!DP`Ouc3\
M TAR WTA { ICOL /P / M } WSTD HBAR GBAR NRYS " r$ /
M TAR WTA { ICOL /P / M } YIP HBAR GBAR NRYS :c=.D;,
M TAR WTA { ICOL /P / M } XIP HBAR GBAR NRYS t,<UohL|z
M TAR WTA { ICOL /P / M } IPX HBAR GBAR NRYS {v,)G)obWw
M TAR WTA { ICOL /P / M } IPY HBAR GBAR NRYS "@yyXS
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它們在AANT文件中。XIP和YIP的值給出了從參考點(diǎn)到像點(diǎn)的距離，接近衍射圖樣的峰值。參考點(diǎn)是在請求的色差中，或如果請求多波長“M”則在主波長色差中，在請求的視場角處的主光線點(diǎn)。WVAR返回波前差，WSTD返回方差的平方根，即波前的標(biāo)準(zhǔn)偏差。 1m)M;^_
IPX和IPY是相關(guān)的，但是不同。在這里，程序找到像點(diǎn)，然后也找到軸上物體的對應(yīng)點(diǎn)。返回值是X和Y的差值，單位是透鏡單位。因此，如果軸上像是完美的，計(jì)算返回在請求的視場處像點(diǎn)的位置。如果軸上像點(diǎn)有非零坐標(biāo)(例如，由于軸向彗差)，從該點(diǎn)而不是從頂點(diǎn)測量返回值。因此，為了控制畸變，目標(biāo)是所需的圖像比例與IPX或IPY返回的值之差。 `q_<Im%I
用VARIANCE進(jìn)行計(jì)算，追跡大約NRYS條光線并找到所需的量。
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