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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 求助光馳機(jī)離子源結(jié)構(gòu)原理資料 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

qqcheng 2019-06-24 13:17

求助光馳機(jī)離子源結(jié)構(gòu)原理資料

RT求助一份光馳離子源學(xué)習(xí)資料，更全面的了解和學(xué)習(xí)其工作原理以及設(shè)計的結(jié)構(gòu)
ouyuu 2019-06-24 13:50
離子源機(jī)械結(jié)構(gòu)很簡單，難點(diǎn)在于控制（氣體，電壓，電流，RF匹配）和柵網(wǎng)的加工精度。
qqcheng 2019-06-24 14:56
ouyuu:離子源機(jī)械結(jié)構(gòu)很簡單，難點(diǎn)在于控制（氣體，電壓，電流，RF匹配）和柵網(wǎng)的加工精度。 (2019-06-24 13:50)  "o+?vx-  
r&m49N,d  
您好，首先謝謝你的回復(fù)。您說的這些點(diǎn)難控制其根本參照標(biāo)準(zhǔn)是否在于薄膜吸收大小問題。
ouyuu 2019-06-24 21:31
這些難點(diǎn)會影響離子源穩(wěn)定性。 4/|x^Ky>G  
一個不穩(wěn)定的離子源是無法做出穩(wěn)定的膜系的
我愛小灰寶 2019-07-27 16:56
[attachment=94745] {h|<qfH  
這是資料，你可以看看
jiangxinwu 2019-08-19 15:08
同求助 哈哈謝謝了
會飛的蜘蛛 2023-09-06 18:34
謝謝樓中好心人
李某 2023-12-17 06:54
感謝大佬 { 7ji