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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 求助光馳機離子源結(jié)構(gòu)原理資料 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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qqcheng	2019-06-24 13:17
求助光馳機離子源結(jié)構(gòu)原理資料 RT求助一份光馳離子源學(xué)習(xí)資料，更全面的了解和學(xué)習(xí)其工作原理以及設(shè)計的結(jié)構(gòu)

ouyuu	2019-06-24 13:50
離子源機械結(jié)構(gòu)很簡單，難點在于控制（氣體，電壓，電流，RF匹配）和柵網(wǎng)的加工精度。

qqcheng	2019-06-24 14:56
ouyuu:離子源機械結(jié)構(gòu)很簡單，難點在于控制（氣體，電壓，電流，RF匹配）和柵網(wǎng)的加工精度。 (2019-06-24 13:50) UXa%$gwFw iR4"I7J 您好，首先謝謝你的回復(fù)。您說的這些點難控制其根本參照標(biāo)準(zhǔn)是否在于薄膜吸收大小問題。

ouyuu	2019-06-24 21:31
這些難點會影響離子源穩(wěn)定性。