| jiajia80 |
2019-12-31 21:20 |
橢圓偏振光譜測量技術及其在薄膜材料研究中的應用
摘要：橢圓偏振光譜測量技術通過測量線偏振光經材料表面反射后光的相對振幅與相位改變量計算得到橢偏參數(shù)，再通過橢偏參數(shù)的擬合獲取樣品光學性質。由于其具有非接觸、高靈敏度、非破壞性等優(yōu)勢，廣泛應用于物理、化學、材料科學和微電子等方面，是一種不可或缺的光學測量手段。本文首先簡要回顧了該技術的發(fā)展歷程，接著闡述了傳統(tǒng)橢偏儀的基本原理，按照測量原理的不同可將橢偏儀分為消光式和光度式。隨后，本文簡單介紹了一些常用橢偏儀的基本架構、測量原理和相關應用，并比較了他們的優(yōu)缺點，重點展示了復旦大學研制的雙重傅立葉變換紅外橢偏光譜系統(tǒng)。然后按照橢偏參數(shù)處理的基本步驟：測量、建模與擬合3個方面，闡述了其過程，詳細剖析了參數(shù)擬合所使用的各種光學色散模型，同時通過應用實例介紹了各色散模型的應用情況。最后，對未來橢偏技術的發(fā)展方向進行了展望。 [}.OlR3)
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