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光行天下 -> 光學(xué)加工與制造 -> 微納加工技術(shù)在光電子領(lǐng)域的應(yīng)用 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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ka2012

2020-02-03 15:56

微納加工技術(shù)在光電子領(lǐng)域的應(yīng)用

摘要：納米光電子器件正在成為下一代光電子器件的核心。文章介紹了電子束光刻和電感耦合等離子體刻蝕為代表的微納加工技術(shù)在光電子學(xué)器件中的應(yīng)用，主要包括量子點(diǎn)激光器、量子點(diǎn)THz探測器和光子晶體器件。

關(guān)鍵詞：納米光電子器件；電子束光刻；電感耦合等離子體刻蝕；量子點(diǎn)器件；光子晶體

fy0511	2020-02-04 12:59
非常好的資源！感謝樓主

hkssy	2020-03-18 16:20
謝謝樓主分享

cmy0522	2020-05-16 15:46
學(xué)習(xí)了

剎那青春	2020-06-21 08:16
感謝樓主分享

l小飛	2022-04-25 13:17
感謝分享

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