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目前工藝介質(zhì)膜厚精度能到多少?
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alien21
2020-03-20 15:18
目前工藝介質(zhì)膜厚精度能到多少?
想咨詢一下,以目前的鍍膜工藝水平,蒸鍍和濺射方法鍍制介質(zhì)膜,膜厚精度分別能到多少? 膜系總厚在100nm左右。
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