| morningtech |
2020-04-27 08:53 |
為修正產(chǎn)品與監(jiān)控片厚度差異而設(shè)定的一個參數(shù)，用光控時老師把它叫作比例系數(shù)， O:3LA-vA
晶控上寫作Tooling Factor，有人簡稱它tooling，有人直譯為工具因子，膜林晶控儀上寫作比例因子(最初聽到工具因子時不知所云，雖慢慢耳熟，仍要改)。 [R:\
理想情況下，有了正確的tooling值，晶控儀上設(shè)定的膜層厚度和蒸鍍上樣品的膜層厚度就統(tǒng)一為設(shè)計厚度了。 dP}=cZ~
H}5zKv.T
定義上，晶控Tooling Factor = 樣品(鍍膜產(chǎn)品)上實測膜層物理厚度/晶振片上膜層物理厚度 × 100% xFvDKW)_X7
假定工藝不變情況下，第一次鍍膜時的Tooling值T1不夠準(zhǔn)確，樣品實測厚度與設(shè)計厚度有偏差，需要修正。 vs}_1o
修正值 T2 = T1 * 樣品實測厚度/設(shè)計厚度 s_xWvx8?4.
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先思考一下，把你問題中的參數(shù)看怎么對應(yīng)到上面式子里。
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