| gangzi0801 |
2020-05-02 11:05 |
簡(jiǎn)述光刻機(jī)投影物鏡的幾種減振方案
摘要：振動(dòng)是影響光刻機(jī)投影物鏡動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素，決定了投影光刻機(jī)的主要性能。簡(jiǎn)述了消除或抑制投影物鏡振動(dòng)的兩種方案，即一體式主動(dòng)減振方案和采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的柔性支撐兩級(jí)主動(dòng)減振方案。通過(guò)在實(shí)際中應(yīng)用表明，后一種減振方案可以實(shí)現(xiàn)亞微米甚至納米級(jí)的定位精度及穩(wěn)定性。 C eEhe
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關(guān)鍵詞：光刻機(jī)；投影物鏡；壓電陶瓷；主動(dòng)減振
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