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光刻機(jī)投影物鏡結(jié)構(gòu)型式比較
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我是菜鳥
2020-05-02 11:17
光刻機(jī)投影物鏡結(jié)構(gòu)型式比較
摘要：本文分析了光刻機(jī)中采用的幾種投影物鏡的結(jié)構(gòu)型式，比較了各自的優(yōu)缺點(diǎn)，指出目前光刻機(jī)中采用全折射投影物鏡作為主流結(jié)構(gòu)型式的原因。
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