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2020-05-03 14:53 |
光學(xué)微結(jié)構(gòu)的超精密加工技術(shù)
摘要：微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件在光電產(chǎn)品及光通訊產(chǎn)品中的應(yīng)用日益廣泛。采用多軸超精密機床加工光學(xué)微結(jié)構(gòu),可達到亞微米級形狀精度和納米級表面光潔度的高精度水平。詳細介紹了光學(xué)自由曲面及光學(xué)微結(jié)構(gòu)的超精密加工技術(shù)，并開發(fā)了適合超精加工微型槽和微透鏡列陣的刀具軌跡自動生成軟件。 ~Eut_d
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