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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 蒸發(fā)鍍膜都有哪些膜料要預(yù)融或者充氧鍍的 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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小學(xué)僧	2020-07-05 22:49
蒸發(fā)鍍膜都有哪些膜料要預(yù)融或者充氧鍍的蒸發(fā)鍍膜都有哪些膜料要預(yù)融或者充氧鍍的，大神說(shuō)一下！

小學(xué)僧	2020-07-05 22:50
五氧化三鈦怎么鍍的

yzhuang	2020-08-10 23:24
一般氧化物都充一點(diǎn)，包括sio2，不過(guò)會(huì)失氧多一些的ti3o5等充氧量大一些

cc327	2020-08-20 22:12
小學(xué)僧:五氧化三鈦怎么鍍的 (2020-07-05 22:50) VPOp#;"% gdG#;T' 需要充氧

ouyuu	2020-08-23 01:46
氧化物最好都充氧。

shunzi130	2020-10-10 11:11
充60-70sccm

ouyuu

2020-10-10 17:26

鍍膜并不是以分子形式，而是以單獨(dú)原子的方式蒸發(fā)的。
不同原子的質(zhì)量不同，蒸發(fā)速度和運(yùn)動(dòng)角度也不一樣。
所以在蒸發(fā)早期或者末期，還有大角度區(qū)域，可能會(huì)發(fā)生氧不足的情況。
（氧多余會(huì)變成氣體蒸發(fā)掉，所以不存在氧多余的情況）
這時(shí)候適當(dāng)補(bǔ)充氧氣，可以補(bǔ)足缺失的氧，使得薄膜性質(zhì)穩(wěn)定。

tony肖	2021-06-24 19:13
氧化物建議充氧

alienware	2021-10-25 17:01
謝謝學(xué)習(xí)下 A\|BN>?.t 謝謝

菩提樹(shù)下	2024-04-14 15:10
用PVD，通氧氣和氬氣鍍膜 a>Xq

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