老司机午夜精品_国产精品高清免费在线_99热点高清无码中文字幕_在线观看国产成人AV天堂_中文字幕国产91

首頁 -> 登錄 -> 注冊 -> 回復(fù)主題 -> 發(fā)表主題

光行天下 -> 文獻,論文,課件及其它 -> 應(yīng)用于投影光刻離軸照明的自由曲面設(shè)計 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

[打印本頁]

gangzi0801

2020-08-05 16:28

應(yīng)用于投影光刻離軸照明的自由曲面設(shè)計

摘要：離軸照明是現(xiàn)代投影光刻中的一種重要的分辨率增強技術(shù)。針對不同的照明模式要求，提出了一種利用自由曲面來實現(xiàn)離軸照明的方法。根據(jù)入射面和目標面之間的坐標拓撲和能量守恒關(guān)系，利用數(shù)值求解法得出自相應(yīng)的折射式自由曲面并對結(jié)果進行模擬，分別設(shè)計了環(huán)形、二極和四極照明，照明效率均達到90%以上，照明均勻性均優(yōu)于93%。結(jié)果表明，可以滿足193nm投影光刻照明系統(tǒng)的設(shè)計要求。

關(guān)鍵詞：光學(xué)設(shè)計；自由曲面；投影光刻；分辨率增強；照明；光束整形

ttb2016	2020-08-05 23:08
感謝分享！

anti	2020-08-09 09:26
謝謝樓主分享，最近在設(shè)計光固化光路，很值得學(xué)習(xí)

sgq123	2020-09-22 10:13
謝謝樓主分享，，很值得學(xué)習(xí)

chenfeng1205	2020-11-09 11:46
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)

果凍ssr	2020-11-10 11:11
自由曲面資料太少了 *lo0T93B

火車污污	2020-12-28 13:20
謝謝分享

daxingyang	2021-01-26 10:40
光行天下的干貨是越來越多了

阿偉不熬夜	2021-10-21 16:06
數(shù)值求解方法和種子曲線擴展方法，兩者有什么區(qū)別呢

煮酒品春秋	2023-01-13 09:39
謝謝樓主分享

1039390270	2023-02-25 14:15
謝謝樓主分享

chengzheng	2023-04-20 16:42
感謝分享！

查看本帖完整版本: [-- 應(yīng)用于投影光刻離軸照明的自由曲面設(shè)計 --] [-- top --]