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光行天下 -> 光學(xué)設(shè)計(jì)及經(jīng)驗(yàn) -> 用于光刻機(jī)照明均勻化的微柱面鏡陣列設(shè)計(jì) [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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991518

2020-08-24 23:33

用于光刻機(jī)照明均勻化的微柱面鏡陣列設(shè)計(jì)

摘要：均勻照明是投影光刻機(jī)中實(shí)現(xiàn)光刻線條高度均一性的重要條件。采用微透鏡陣列作為照明勻光器件，能夠在實(shí)現(xiàn)矩形照明光斑的同時(shí)獲得極高的遠(yuǎn)場分布均勻性�；谖⑼哥R陣列現(xiàn)有的加工工藝，設(shè)計(jì)出二維方向分開的柱面微透鏡陣列，并通過優(yōu)化設(shè)計(jì)，克服了微透鏡之間的接縫在遠(yuǎn)場光場處產(chǎn)生的中心亮線。仿真分析表明，所設(shè)計(jì)的微透鏡陣列的遠(yuǎn)場分布不均勻性達(dá)到0.85％。

關(guān)鍵詞：幾何光學(xué)；微柱面鏡陣列；光學(xué)設(shè)計(jì)；照明均勻性

optifdtd	2020-08-25 08:03
學(xué)習(xí)了解。。。。。。

ruanpeiz	2020-08-27 14:25
好東西學(xué)習(xí)一下

ruanpeiz	2020-08-27 14:26
感謝感謝

jiatong	2020-08-29 16:02
感謝！ I}hY @

wuyy1227	2020-08-31 20:57
學(xué)習(xí)了！

lzj421223	2020-09-02 18:12
學(xué)習(xí)了�。�！謝謝

hale1987	2020-09-08 15:53
感謝！

寒夜	2020-09-09 23:20
謝謝分享。

居安思危	2020-09-10 07:39
感謝，好東西，學(xué)習(xí)一下

godhsu	2020-09-10 09:44
學(xué)習(xí)一下

白萬濤	2020-09-11 10:23
好東西，學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)

lyhgod	2020-09-11 14:10
了解一下

鎩羽lv	2020-09-13 21:02
感謝分享，學(xué)習(xí)一下

姜月	2020-09-14 11:26
看一下，學(xué)習(xí)學(xué)習(xí) Ng 3r`S"_<

liuwei_fr	2020-09-15 19:27
很好好好學(xué)習(xí)一下

caprishan	2020-09-16 14:46
好東西學(xué)習(xí)一下 KP*cb6vA

木子笑月	2020-12-26 17:42
學(xué)習(xí)了！！

火車污污	2020-12-28 13:19
學(xué)習(xí)了學(xué)習(xí)了

mmgg998	2021-06-06 16:29
感謝，好東西，學(xué)習(xí)一下

looksea2015	2021-06-08 16:19
好東西學(xué)習(xí)

wangjiaqii	2021-07-19 14:57
太好了，感謝分享�。�！

傅里葉的光	2021-07-21 14:15
謝謝樓主分享

strollee	2021-07-22 14:13
學(xué)習(xí)看看

wap403	2022-03-31 15:55
謝謝分享，觀摩一下

sucre_bonbon	2022-06-16 10:03
不錯(cuò)，學(xué)習(xí)一下

遠(yuǎn)山和葉	2022-06-19 14:09
學(xué)習(xí)一下

zycxjl	2022-06-19 20:56
看看，高科技。

yinglove	2022-06-22 13:53
這個(gè)加工好做嗎

王教主	2023-03-14 13:49
感謝，好東西，學(xué)習(xí)一下

liyujin1118	2023-05-15 11:31
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)

向光而行nano	2023-05-17 12:07
學(xué)習(xí)一下，謝謝

吃個(gè)菠蘿油	2023-07-11 15:37
學(xué)習(xí)了解下

liulin666	2023-07-12 08:45
光刻機(jī)照明均勻化微柱面鏡陣列設(shè)計(jì)

youchaol	2023-09-18 14:02
十分感謝，希望繼續(xù)多分享�。�！

aliez	2023-10-25 10:37
學(xué)習(xí)了，感謝！

dyyp	2023-11-09 09:18
感謝樓主分享

譚健	2023-11-09 10:56
學(xué)習(xí)了解

祖?zhèn)骼现嗅t(yī)	2023-11-09 13:44
正要學(xué)習(xí)

ioash	2024-03-22 13:28
學(xué)習(xí)了解下

liying	2024-03-27 15:33
正好最近在研究微透鏡 2Kz407\|'

w789866755	2024-03-28 16:12
感謝感謝

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