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2021-04-20 11:10 |
二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置
摘要 '`tFZfT "r`2V-E 復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用,如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM,或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面,用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀,從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 ipG 0ie+
_G`Q2hf"5 1. 本案例主要說明: Gy+c/gK 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu),通過: ;=2JbA+"G - 基于介質(zhì)的定義類型 u;%~P 9O - 基于表面的定義類型 =2*2$ 計(jì)算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 AW;xlY= g 注意:在VirtualLab中,具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此,層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 `C7pM m5/]+xdNX 2. 光柵工具箱初始化 3hkEjR 初始化 {%6
'|<`[ - 開始→ t<+>E_Xw 光柵→ nzO-\`40 一般光柵光路圖(3D光柵) ,nog6\ Na]ITCVR
@WXRZEz 注意:對于特殊類型的光柵,如柱狀光柵,可以直接選擇特定的光路圖。 9k4z__K
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