| infotek | 2021-04-29 09:52 |
GLAD：光刻成像系統(tǒng)的建模該系統(tǒng)由一個聚光鏡、一個傾斜球體和一個Schwartzchild設(shè)計的中繼鏡組成。光源被成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體掩模處會聚，在中繼透鏡的光瞳處形成點像。在中繼透鏡的瞳孔處，多條條紋圖案將形成一個中心波瓣和側(cè)波瓣。如下圖所示：  掩模上的條形圖案在中繼瞳孔中產(chǎn)生旁瓣 窄條產(chǎn)生寬的旁瓣，僅部分通過中繼入口瞳孔 寬條產(chǎn)生較窄的旁瓣，更容易通過中繼入口瞳孔 部分通過旁瓣會產(chǎn)生部分解析 系統(tǒng)描述 | |