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GLAD：光刻成像系統(tǒng)的建模
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infotek
2021-04-29 09:52
GLAD：光刻成像系統(tǒng)的建模
概述
#w@Pa L iS
該系統(tǒng)由一個聚光鏡、一個傾斜球體和一個Schwartzchild設(shè)計的中繼鏡組成。光源被成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體掩模處會聚，在中繼透鏡的光瞳處形成點像。在中繼透鏡的瞳孔處，多條條紋圖案將形成一個中心波瓣和側(cè)波瓣。如下圖所示：
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