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2021-06-22 09:51 |
白光邁克爾遜干涉儀
1. 摘要 `8I&7c L}FOjrN 白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù),用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性,結(jié)果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 Vg>( Y, '/$d0`3B> :OkT? (i a?6ab+7# 2. 建模任務(wù) [ e8x&{L-_ ]b=
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