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2021-07-14 10:31 |
納米光學(xué)仿真軟件包JCMsuite應(yīng)用領(lǐng)域
JCMsuite的應(yīng)用領(lǐng)域 ;/ao3Q ppPzI, 現(xiàn)代納米光學(xué)系統(tǒng)的復(fù)雜性使得大量的仿真非常必要。 JCMsuite提供的超嚴(yán)格的仿真可以讓設(shè)計(jì)者深刻理解相關(guān)現(xiàn)象,了解更多不同領(lǐng)域帶來(lái)的挑戰(zhàn)。 >Av%[G5=h#
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pFzK 計(jì)算光刻 -O>*`
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8A|i$#.& 21G:!t4/?n JCMsuite提供了完整的光學(xué)仿真鏈:對(duì)復(fù)雜照明的描述,通過光學(xué)成像系統(tǒng)和光掩模傳播的光場(chǎng)的計(jì)算,直至在光刻膠中形成圖像。 gfAVxMg XrQS?D` 計(jì)算計(jì)量學(xué) ,__|SnA. oxL4* bqZ
O7\)C]A ^p!bteA> 周期大于照明波長(zhǎng)一半的結(jié)構(gòu)的光學(xué)計(jì)量已成為標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量技術(shù)。 但是,快速嚴(yán)格的仿真技術(shù)以及設(shè)計(jì)好的測(cè)量裝備允許在深亞波長(zhǎng)范圍內(nèi)使用光學(xué)計(jì)量方法。 a3oSSkT /pDI
\] 波導(dǎo)和光纖 IXmO1*o@ M)!:o/!c
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