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光行天下 -> 光學薄膜設計,工藝與設備 -> 8微米氟化鎂膜成膜問題 [點此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

starofage 2021-08-12 16:53

8微米氟化鎂膜成膜問題

最近功能性需求需要鍍8微米的氟化鎂膜,用的電子槍蒸發(fā),鍍完后表面全部像雪花一樣掉膜,是什么原因?有什么改善方法?
ouyuu 2021-08-19 20:59
氟化鎂可以用阻蒸,速度快一點,溫度高一點。
a013109425 2021-08-21 17:13
是否鍍膜真空過高
驀然知回路 2021-08-24 16:32
make一下
starofage 2021-08-27 09:23
ouyuu:氟化鎂可以用阻蒸,速度快一點,溫度高一點。 (2021-08-19 20:59)  )GHq/:1W  
&b:1I 7Cp*  
是基片溫度高點嗎?我加的300°
starofage 2021-08-27 09:25
a013109425:是否鍍膜真空過高 (2021-08-21 17:13)  v/