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8微米氟化鎂膜成膜問題
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starofage
2021-08-12 16:53
8微米氟化鎂膜成膜問題
最近功能性需求需要鍍8微米的氟化鎂膜,用的電子槍蒸發(fā),鍍完后表面全部像雪花一樣掉膜,是什么原因?有什么改善方法?
ouyuu
2021-08-19 20:59
氟化鎂可以用阻蒸,速度快一點,溫度高一點。
a013109425
2021-08-21 17:13
是否鍍膜真空過高
驀然知回路
2021-08-24 16:32
make一下
starofage
2021-08-27 09:23
ouyuu
:
氟化鎂可以用阻蒸,速度快一點,溫度高一點。
(2021-08-19 20:59)
)GHq/:1W
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是基片溫度高點嗎?我加的300°
starofage
2021-08-27 09:25
a013109425
:
是否鍍膜真空過高
(2021-08-21 17:13)
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