利用光線追跡分析高數(shù)值孔徑透鏡系統(tǒng)
1. 描述 :$I"n\ ■ 該案例中闡述了如何利用VirtualLab對(duì)一個(gè)具有高數(shù)值孔徑的透鏡系統(tǒng)進(jìn)行分析。 bB@=J~l4 ■ 我們將對(duì)焦面前和焦面上對(duì)三維光線結(jié)構(gòu)和二維點(diǎn)列圖進(jìn)行討論。 u^Cls!C ■ 此外,VirtualLab可用于測(cè)量焦平面上的光斑尺寸。 CC^D4]ug j+!u=E 2. 系統(tǒng) yBK$2to~ 05F/&+V
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd $mxG-'x%K 3. 透鏡系統(tǒng)組件編輯 ,DEq"VW_ }w)}=WmD ■ 在光路視圖中雙擊透鏡系統(tǒng)元件,可以顯示元件編輯窗口。 ,u@:(G ■ 透鏡系統(tǒng)是由序列光學(xué)表面(OIS)定義的。 /CALXwL ■ 每一個(gè)可選項(xiàng)都有獨(dú)立的參數(shù),并可以設(shè)定。 J@_M%eN ■ 包括序列光學(xué)表面和光學(xué)介質(zhì)。 oDS7do |kmP#`P~ ;)ay uS sQ 4. 光線追跡系統(tǒng)分析器-選項(xiàng) {X?Aj >l /Ey%aA4v shB3[W{}!) ■ 分析器允許用戶(hù)指定使用光源的光線選項(xiàng)。 f['I4 /o ■ 可以選擇選取光線的方法: /'oo;e — 在x-y-網(wǎng)格 JQb{?C — 六邊形 a[;L+ — 自由選取 xS,F
DPA ■ 每一個(gè)可選項(xiàng)都有獨(dú)立的參數(shù),并可以設(shè)定。 4UbqYl3|a P^o@x,V!& 5. 系統(tǒng)的3維視圖 t7-r YY( 5[2kk5,
koB'Zp/FaY 6. 其他系統(tǒng)參數(shù) [cDkmRV ■ 系統(tǒng)由單色平面波照明 \<I&utn ■ 照明波長(zhǎng)266.08nm w[a(I}x ■ 后端的探測(cè)器用來(lái)分析透鏡系統(tǒng)的性能: )E9c6'd — 一個(gè)虛擬屏直接放在透鏡系統(tǒng)后面。 tIn`L6b — 一個(gè)虛擬屏位于焦平面 AQ
FnS&Y — 光束尺寸探測(cè)器置于焦平面 0x*1I1(c ■ 焦平面位于透鏡系統(tǒng)后端748.86um處。 a2?@OJ YuuTLX%3 b1^wK"# RaLV@>jPm UDZ0ne0- 7. 光線追跡系統(tǒng)分析器的結(jié)果 UNSXr`9 L5UZ@R,
光線經(jīng)過(guò)整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的三維視圖 h@JX?LzZS
光線經(jīng)過(guò)整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的三維視圖(局部放大) -[N9"Z, {$t*XTY6R BN(=LQ2[" ~(*tcs]hY OL_#Uu G>?kskm 8. 透鏡系統(tǒng)后虛擬屏的結(jié)果 T!?tyW L~/L<M
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