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infotek	2021-11-25 09:42
柱型抗反射結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化該應(yīng)用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴(yán)格分析以及一個(gè)兩步優(yōu)化。此外，對圓柱直徑與高度的影響進(jìn)行了分析。